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超精密Micor系列显微线扫相机
产品尺寸：199.1H * 135D * 205Wmm
有效宽度：6,14,28mm
清 晰 度：9600/19200/38400dpi
像素大小：0.66um/1.32um/2.65um
线扫速率：3.57kHz
焦距范围：±0.1mm
工作距离：52.4/70.2mm
数据接口：USB3.0
主要应用：晶圆表面， 太阳能电池板，硅晶片等
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